显影液制造装置及显影液制造方法

摘要

提供一种显影液制造装置及方法，该装置备有：供给且搅拌显影原液和纯水，调制碱系显影液的调制槽；测定调制槽内的碱系显影液的量的第一液量测定装置；测定调制槽内的碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置；根据第一液量测定装置和第一碱浓度测定装置的测定值，调整调制槽内的碱系显影液的量的第一液量控制装置；以及根据第一液量测定装置和第一碱浓度测定装置的测定值，调整供给调制槽的显影原液的供给量及纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置。

主权项

1.一种显影液制造装置，通过管路连接到形成进行了精细加工的电子电路的加工设备上，制造该加工设备中使用的碱系显影液，其特征在于该装置备有：供给且搅拌显影原液和纯水，调制碱系显影液的调制槽；测定上述调制槽内的碱系显影液的液量的第一液量测定装置；测定上述调制槽内的碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置；根据上述第一液量测定装置的测定值和上述第一碱浓度测定装置的测定值，算出为了把上述调整槽内的碱系显影液的碱浓度变成预定的浓度所必需的、上述调制槽内的碱系显影液的液量的减少量，根据上述减少量的算出值减少上述调制槽内的碱系显影液的液量的第一液量控制装置；以及根据上述第一液量测定装置的测定值和上述第一碱浓度测定装置的测定值，算出为了把被上述第一液量控制装置减少了液量的上述调制槽内的碱系显影液的碱浓度变成上述预定的浓度所必需的显影原液和纯水中的至少一者的供给量，根据上述供给量的算出值向上述调制槽供给显影原液和纯水中的至少一者的液供给控制装置。