灰色调掩模及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有高精度的灰色调部的图案的灰色调掩模的制造方法。该灰色调掩模的制造方法，包括：在形成于掩模制作板上的感光材料层上进行图案描绘的描绘工序，该掩模制作板是在透明基板上具有遮光膜的掩模制作板，所述描绘工序，对与像素图案对应的重复图案，以大体相同的描绘条件照射能量束进行描绘，并且在上述重复图案中的灰色调部区域中，选择成为最佳描绘条件的描绘位置进行描绘。灰色调部是形成有小于等于用于使用灰色调掩模进行曝光的曝光机的析像极限的遮光图案的区域。

主权项

1.一种灰色调掩模的制造方法，该灰色调掩模具有由遮光部和透光部和灰色调部组成的图案，用于在显示装置用基板上形成所希望的像素图案，其特征在于，包括：在形成于掩模制作板上的感光材料层上进行图案描绘的描绘工序，该掩模制作板是在透明基板上具有遮光膜的掩模制作板，所述描绘工序，对与像素图案对应的重复图案，以大体相同的描绘条件照射能量束进行描绘，并且在上述重复图案中的灰色调部区域中，选择成为最佳描绘条件的描绘位置进行描绘。