发明名称 液晶显示器件及其制造方法
摘要 一种制造液晶显示器件的方法,包括:利用第一掩模工艺在基板上形成栅极、选通汇流线和选通焊盘;在基板的整个表面上形成栅极绝缘层和有源层;在基板的整个表面上形成第一有机材料膜;除去部分第一有机材料膜,以暴露选通焊盘的第一部分;在基板的整个表面上淀积透明膜;利用第二半色调掩模对透明膜进行构图,以形成数据汇流线、源极、漏极、像素电极、沟道层、和欧姆接触层;利用第三掩模暴露部分数据焊盘和部分数据汇流线;在基板的整个表面上形成第二有机材料膜;在数据汇流线上淀积低电阻材料;在基板上涂覆钝化膜;利用移去工艺除去第二有机材料膜,以暴露选通焊盘的第二部分和数据焊盘的第一部分。
申请公布号 CN1237373C 申请公布日期 2006.01.18
申请号 CN200310121211.2 申请日期 2003.12.15
申请人 LG.飞利浦LCD有限公司 发明人 林柄昊
分类号 G02F1/133(2006.01);G02F1/136(2006.01);H01L21/02(2006.01) 主分类号 G02F1/133(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 李辉
主权项 1.一种制造液晶显示器件的方法,包括步骤:利用第一掩模工艺在基板上形成栅极、选通汇流线和选通焊盘;在基板的整个表面上形成栅极绝缘层和有源层;在基板的整个表面上形成第一有机材料膜;除去部分第一有机材料膜以暴露选通焊盘的第一部分;在基板的整个表面上淀积透明膜;利用第二半色调掩模对透明膜进行构图,以形成数据汇流线、源极、漏极、像素电极、沟道层、和欧姆接触层;利用第三掩模暴露部分数据焊盘和部分数据汇流线;在基板的整个表面上形成第二有机材料膜;在数据汇流线上淀积低电阻材料;在基板上涂覆钝化膜;利用移去工艺除去第二有机材料膜,以暴露选通焊盘的第二部分和数据焊盘的第一部分。
地址 韩国首尔