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发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MOSFET WITH VERY SMALL CHANNEL LENGTH
摘要
申请公布号 EP1374293(B1) 申请公布日期 2006.01.18
申请号 EP20020719646 申请日期 2002.02.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 CAPPELLANI, ANNALISA;DITTMAR, LUDWIG;SCHUMANN, DIRK
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/265;H01L21/3213;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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