GAS SUPPLY DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号KR20040054535-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	GAS SUPPLY DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	KR20060005658(A)	申请公布日期	2006.01.18
申请号	KR20040054535	申请日期	2004.07.13
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	YUN, JUN OH
分类号	H01L21/02;H01L21/205	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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