星形聚合物

摘要

本发明提供一种星形聚合物及制备该星形聚合物的方法，所述的星形聚合物包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为1,000至100,000，其中包含至少一个重复单元的至少一个分支选自下面的重复单元(1)、(2)、(3)、(4)和(9)。本发明还提高一种包含星形聚合物和酸生成剂的化学放大正型抗蚀剂组合物。

主权项

1、一种星形聚合物，其包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为1,000至100,000，其中包含至少一个重复单元的至少一个分支选自下面式(1)、(2)、(3)、(4)和(9)的重复单元；式(1)其中R¹表示氢原子、含有1至4个碳原子的烷基，或含有1至4个碳原子的氟烷基，R²¹和R²²各自独立表示含有1至6个碳原子的烷基，含有3至6个碳原子的环烷基，含有1至6个碳原子的卤烷基，含有3至10个碳原子的卤环烷基，或苯基，其中在苯基中的至少一个氢原子可以被含有1至4个碳原子的烷基或卤素原子取代，或R²¹和R²²结合形成含有5至10个碳原子的二价饱和脂肪族烃基，R²³表示氢原子、含有1至10个碳原子的烷基，含有3至10个碳原子的环烷基，含有1至10个碳原子的卤烷基，含有3至10个碳原子的卤环烷基，或含有7至12个碳原子的芳烷基，前提条件是R²²为甲基，或当R²³为氢原子时，R²²中与R²²相邻的碳原子连接的碳原子是仲或伯碳原子，或R²³中与R²²相邻的碳原子连接的碳原子是叔碳原子，m是1至3的整数，当m为2或3时，式-(OC(OR²¹)R²²R²³)的每个基团可以相同或不同；式(2)R³¹表示含有1至20个碳原子的烃基或式-CH(R³³)-OR³⁴的基团，u是0至2的整数，R³¹中不与R³¹相邻的氧连接的-CH₂-可以被-COO-或-O-取代，和R³¹中的至少一个氢原子可以被羟基、氰基、卤素原子或烷氧基所取代，R³³表示含有1至5个碳原子的烷基或含有3至10个碳原子的脂环族烃基，R³⁴表示含有1至3个碳原子的烷基，含有3至10个碳原子的脂环族烃基，式-R⁴⁰-O-R⁴¹的基团，或式-R⁴²-O(C＝O)-R⁴³的基团，或R³³和R³⁴结合形成含有3至10个碳原子的二价饱和脂肪族烃基，在二价脂肪族烃基中，不与R³¹相邻的氧连接的-CH₂-可以被-COO-或-O-所任意取代，R⁴⁰表示含有1至5个碳原子的二价饱和脂肪族烃基，或3至10个碳原子的二价饱和脂环族烃基，R⁴¹表示含有1至5个碳原子的烷基或含有3至10个碳原子的脂环族烃基，R⁴²表示含有1至5个碳原子的二价饱和脂肪族烃基，或3至10个碳原子的二价饱和脂环族烃基，R⁴³表示含有1至5个碳原子的烷基或含有3至10个碳原子的脂环族烃基，式(3)其中R³¹具有与上述定义相同的含义，式(4)其中R³¹具有与上述定义相同的含义，式(9)其中Y表示氧原子或-NH-。