发明名称 在集成电路系统和方法中电气故障的快速定位
摘要 快速定位集成电路电气测量的缺陷包括提供信息以用于制造有为并行电气测试而配置的测试结构的测试芯片。采用并行电气测试器来电气测试所述测试芯片上的测试结构。分析电气测试的结果以定位在测试芯片中的缺陷。
申请公布号 CN1723544A 申请公布日期 2006.01.18
申请号 CN200380105680.3 申请日期 2003.12.11
申请人 PDF全解公司 发明人 丹尼斯·齐普里卡斯;克里斯托弗·赫斯;谢丽·李;拉格·H·韦兰
分类号 H01L21/20(2006.01);H01L21/44(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01R1/04(2006.01);G01R19/00(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01) 主分类号 H01L21/20(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 马浩
主权项 1.一种快速定位集成电路的电气测量的缺陷的方法,其包括:(a)提供信息以用于制造具有为并行电气测试而配置的多个测试结构的测试芯片;(b)采用一个并行电气测试器来电气测试所述测试芯片上的测试结构;(c)分析电气测试的结果以定位在测试芯片中的缺陷。
地址 美国加利福尼亚