具有空气间隙和保护涂层的垂直腔面发射激光器

摘要

本发明揭示一种VCSEL，其在反射镜堆叠中包含一空隙并包含一密封该空隙一端的保护层。该空隙界定了VCSEL光圈的边界而不会引入氧化物VCSEL内氧化物区域所能导致的应力；可呈一薄电介质层的保护层保护着反射镜堆叠免受环境损伤。由此，VCSEL可实现高可靠性。VCSEL的制作方法是：形成一个氧化孔洞；氧化暴露在孔洞中的VCSEL反射镜堆叠中的富铝层的一部分；及随后清除全部或者部分剩余氧化物，形成所需的空隙。然后，可沉积保护层来密封该空隙的一端。

主权项

1、一种装置，其包括：一其中延伸穿过一个孔洞的第一反射镜堆叠，其中一个空隙从所述孔洞的侧壁延伸进入所述第一反射镜堆叠；一第二反射镜堆叠；一位于所述第一反射镜堆叠与所述第二反射镜堆叠之间的腔层；及一在所述第一反射镜堆叠内所述孔洞侧壁上密封所述空隙一端的保护层。