发明名称 EQUIPMENT FOR FABRICATING OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20060005481(A) 申请公布日期 2006.01.18
申请号 KR20040054289 申请日期 2004.07.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, BONG JIN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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