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发明名称 METHOD OF FORMING A METAL LINE IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100546207(B1) 申请公布日期 2006.01.18
申请号 KR20040073678 申请日期 2004.09.15
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, SHIN SEUNG
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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