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发明名称
SHUTTLE CHUTE AND SORTING METHOD USING THE SHUTTLE CHUTE
摘要
申请公布号
KR20060005778(A)
申请公布日期
2006.01.18
申请号
KR20040054734
申请日期
2004.07.14
申请人
HANMISEMICONDUCTOR CO., LTD.
发明人
JEONG, HYUN GWON;SHIM, MOO SUP
分类号
H01L21/78
主分类号
H01L21/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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