发明名称 |
Oxime derivatives and the use thereof as latent acids |
摘要 |
New oxime sulfonate compounds of the formula I, II, III, IV, V, VI and VII wherein the substituents are defined in the specification
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申请公布号 |
US6986981(B2) |
申请公布日期 |
2006.01.17 |
申请号 |
US20030380029 |
申请日期 |
2003.03.10 |
申请人 |
CIBA SPECIALTY CHEMICALS CORPORATION |
发明人 |
YAMATO HITOSHI;ASAKURA TOSHIKAGE;MATSUMOTO AKIRA;OHWA MASAKI |
分类号 |
G03F7/031;C07C309/63;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/031 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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