发明名称 Oxime derivatives and the use thereof as latent acids
摘要 New oxime sulfonate compounds of the formula I, II, III, IV, V, VI and VII wherein the substituents are defined in the specification
申请公布号 US6986981(B2) 申请公布日期 2006.01.17
申请号 US20030380029 申请日期 2003.03.10
申请人 CIBA SPECIALTY CHEMICALS CORPORATION 发明人 YAMATO HITOSHI;ASAKURA TOSHIKAGE;MATSUMOTO AKIRA;OHWA MASAKI
分类号 G03F7/031;C07C309/63;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/031
代理机构 代理人
主权项
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