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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR EFFECTIVE TRANSFERRING WAFER
摘要
申请公布号
KR20060005209(A)
申请公布日期
2006.01.17
申请号
KR20040054097
申请日期
2004.07.12
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
SEO, JIN HYUK
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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