发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EFFECTIVE TRANSFERRING WAFER
摘要
申请公布号 KR20060005209(A) 申请公布日期 2006.01.17
申请号 KR20040054097 申请日期 2004.07.12
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SEO, JIN HYUK
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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