用于半导体特征値测量装置之开关矩阵装置

摘要

一种开关矩阵装置，其包含：中继开关用于开启／关闭输入线路与输出线路间之电气连接；以及一LED矩阵，其中LED被配置成一矩阵而对应于各中继开关。每一LED独特地指出被对应于该LED之每一中继开关的开启／关闭状态之组合所定义的状态，及一指令属性用于藉由使用数个被放射之光色定出开启／关闭。该等LED指出该使用者是否可设定输入与输出之组合。