| 摘要 |
本发明方法及系统的特征为主动适应针式夹头，可支撑有第一与第二相对表面的基板，并且补偿该基板表面中之一个的非平面性。为此目的，本方法包含建立点接触于第一表面上藉以造成第二表面形状改变而获致第二表面的合意形状。该合意形状可为在夹头与基板的运算参数内是合意的平坦形、大体平坦形、或任何其他形状。例如，本方法可补偿因第一表面上的微粒物质与基板地形外貌而有之非平面性。为此目的，该支撑系统包含具有多个压电针与参考针的夹头，且将该等压电针耦合至压电致动器藉而经受对于参考针的相对移动。以下将更完整地描述这些及其他的具体实施例。 |
