| 摘要 |
本发明系揭示一聚焦离子束(FIB)铣削端点侦测系统，其系使用一恒定电流的电源供应器来激励将要被修改的一积体电路(IC)。在铣削制程期间，将该FIB循环施加到将要被接取的一导电线路之上。在铣削制程期间，监视该IC的输入功率或电压。当该FIB到达该导电线路时，可侦测到该端点。当该FIB达到该导电线路之位准时，该FIB可将电荷注入到该导电线路。被耦合到该导电线路的一主动装置可放大被该FIB注入的电荷。该主动装置可操作成像是一电流放大器。该IC电流的改变可造成装置输入电压的一放大改变。可藉由监视来自该恒定电流的电源供应器的输入电压之改变而侦测到该端点。 |
