奈米碳管之制作方法及实施该方法之电浆化学气相层积装置

摘要

〔课题〕先前，在依电浆化学气相层积法，于特定的基板表面制作奈米碳管的情况，因基板为由电浆而被加热，在基板温度控制困难，不适于在低温的奈米碳管的制作。〔解决手段〕于真空室11引入含有碳的原料气体，藉由电浆化学气相层积法，在使奈米碳管气相成长于基板S表面时，如基板不接触电浆P的使电浆产生，藉由加热手段而加热基板至特定温度，使已以电浆分解的原料气体接触基板表面，在基板表面使奈米碳管成长。