发明名称 | 隔热支撑台座与直立式炉管 | ||
摘要 | 一种隔热支撑台座与直立式炉管,其中的隔热支撑台座系用于一炉管中,而此隔热支撑台座包括一顶部支撑座、数个隔热板以及数个连接部。其中顶部支撑座包括一环状基座以及一补强结构,而补强结构系与环状基座相连,以使整个顶部支撑座之结构强度大于环状基座的结构强度。而隔热板是配置于顶部支撑座下方,连接部则连接各隔热板以及连接顶部支撑座和其中一个隔热板。由于本发明的整个顶部支撑座之结构强度大于知顶部支撑座的结构强度,因此能避免隔热支撑台座高温变形的问题。 | ||
申请公布号 | TW200603204 | 申请公布日期 | 2006.01.16 |
申请号 | TW093121090 | 申请日期 | 2004.07.15 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 李世文;洪国正;谢坤展;林星宏;刘俊贤 |
分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |