具有空气间隙与保护涂层之垂直腔面射型雷射二极体

摘要

本发明揭示一种VCSEL，其在反射镜堆叠中包含一空隙并包含一密封该空隙一端之保护层。该空隙界定VCSEL孔径之边界而不会引入氧化物VCSEL内之氧化物区域所能导致之应力；可呈一薄介电质层状之保护层保护反射镜堆叠免受环境之损伤。由此，VCSEL可达成高可靠性。一VCSEL之制程形成一氧化孔洞、氧化VCSEL反射镜堆叠暴露于该孔洞中之富铝层之一部分，随后并移除全部或者部分剩余氧化物以形成所需之空隙。然后，可沈积保护层来密封该空隙之一端。