| 摘要 |
本发明揭示一种具有多重独立可操纵雷射细光束之雷射加工系统，其包括一雷射器及用于产生经整形来源光束之光束整形器；用于由经整形来源光束产生复数个细光束之一裂光镜阶段；一细光束控制器包括独立可操纵细光束操纵反射镜，其用于并对应于每一细光束以独立地导向该对应细光束；用于控制每一细光束操纵反射镜之反射镜控制器；及包括将每一操纵细光束导向到工件目标区之扫描透镜之光学通道。每一细光束操纵反射镜系一多轴微电子机械反射镜，该系统还包括位于光学通道中、用对应细光束操纵反射镜拦截进入光束收集器之细光束的光束收集器。 |
