半导体装置及其制造方法

摘要

一种半导体装置的制造方法，包括如下步骤：在基板上形成矽晶核，沈积第一非晶矽，沈积第二非晶矽，并藉着使晶核在固相中生长，而使第一非晶矽及第二非晶矽结晶。