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发明名称
物质之氧化方法及其氧化装置
摘要
本发明提供一种在含一氧化二氮(N2O)的溶液中使物质氧化之氧化方法及氧化装置。使物质存在于含有一氧化二氮(N2O)之溶液中,以至少含240nm以下波长之光照射前述溶液以进行物质的氧化。
申请公布号
TW200603286
申请公布日期
2006.01.16
申请号
TW094116404
申请日期
2005.05.20
申请人
三菱瓦斯化学股份有限公司
发明人
外赤隆二;木村善哉
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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