发明名称 物质之氧化方法及其氧化装置
摘要 本发明提供一种在含一氧化二氮(N2O)的溶液中使物质氧化之氧化方法及氧化装置。使物质存在于含有一氧化二氮(N2O)之溶液中,以至少含240nm以下波长之光照射前述溶液以进行物质的氧化。
申请公布号 TW200603286 申请公布日期 2006.01.16
申请号 TW094116404 申请日期 2005.05.20
申请人 三菱瓦斯化学股份有限公司 发明人 外赤隆二;木村善哉
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本