发明名称 电浆源线圈及利用此电浆源线圈的电浆室
摘要 所揭示系为一种电浆源线圈,此电浆源线圈包括一轴套及复数个单元线圈。此轴套被配置于一部分,且单元线圈以轴套为基础的一同心圆之形式,被配置于轴套之周缘。每一单元线圈之一端及轴套之一端共同地被连接于一电力供应端,而每一单元线圈之另一端及轴套之另一端共同地被连接于一接地端。
申请公布号 TW200603280 申请公布日期 2006.01.16
申请号 TW094109953 申请日期 2005.03.30
申请人 适性电浆科技股份有限公司 发明人 金南宪;李堵汉;吴荣根
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 蔡玉玲
主权项
地址 韩国