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发明名称
电浆源线圈及利用此电浆源线圈的电浆室
摘要
所揭示系为一种电浆源线圈,此电浆源线圈包括一轴套及复数个单元线圈。此轴套被配置于一部分,且单元线圈以轴套为基础的一同心圆之形式,被配置于轴套之周缘。每一单元线圈之一端及轴套之一端共同地被连接于一电力供应端,而每一单元线圈之另一端及轴套之另一端共同地被连接于一接地端。
申请公布号
TW200603280
申请公布日期
2006.01.16
申请号
TW094109953
申请日期
2005.03.30
申请人
适性电浆科技股份有限公司
发明人
金南宪;李堵汉;吴荣根
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
蔡玉玲
主权项
地址
韩国
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