薄膜形成装置及薄膜形成方法

摘要

〔课题〕目的在于：在将薄膜加以积层之光学膜中，形成其有接近设计值之光学特性的光学膜。〔解决手段〕在真空室内2具备有：保持基板4之旋转筒3、及于基板4之薄膜形成面形成金属膜之Si靶22、Ta靶23、及藉由电浆使金属膜与反应气体产生反应之ECR反应室30。在此薄膜形成装置51设置离子枪11，其系对薄膜形成面照射离子束，来促进形成在薄膜形成面之薄膜的反应，使金属膜之形成、气体反应、及藉由离子束之反应促进重复进行。