多晶或具奈米颗粒之含矽薄膜及其光侦测器之制备方法

摘要

本发明揭示一种利用感应耦合电浆式化学气相沉积技术制备含矽薄膜之方法。本发明首先供应一含矽气体及氢气至一反应腔中，并施加一功率大于750瓦之射频电力以将该反应腔中之气体分解形成一感应耦合电浆，其中该感应耦合电浆之化学气相沉积形成该含矽薄膜于一设置于该反应腔内之基板上。此外，亦可同时供应一含锗气体至该反应腔中以形成一矽锗薄膜于该基板上。由于感应耦合电浆之高解离率、低轰击效应及易于各种表面成核结晶等特点，因此本发明可在低温条件下于各式基板上形成高品质之含矽薄膜，其中该基板之材质可为矽、氧化矽或金属。