化学机械研磨之研磨头组合方法

摘要

一种化学机械研磨之研磨头组合方法，首先系提供有一拘束环与一晶圆支撑组件，以螺栓结合固定该拘束环与一研磨头之基座之后，进行一无晶圆精研步骤：在维持该晶圆支撑组件在一上升状态或是无充气施压之条件下，研磨该拘束环之磨耗面，以确保该磨耗面之平面度。