| 摘要 |
设计一交替相移光罩(alternating phase shifting mask)之一方法，此交替相移光罩供投影一积体电路设计之一影像。相单元(phase units)系二元(binary)可上色(colorable)于阶层式(hierarchical)电路设计之每一单元中，例如元(cell)、一阵列、一网(net)、或网及／或元组成之阵列，其系相形(phase shape)。于一阶层式单元中相或色之指定会被正确地二元上色，以满足微影、可制造性和其他设计规则，总称为上色规则(coloring rules)。在与其他单元组合期间，一阶层式单元中相之上色可改变(例如被反向(reversed)或倒置(flipped))，但一阶层式单元之正确二元可上色性被保留，此简化积体电路布局之组合。 |
