发明名称 阵列基板之检查方法及阵列基板之制造方法
摘要 本发明系提供一种阵列基板之检查方法,检查阵列基板时,检查设置像素电极前之阵列基板有无缺陷(步骤S3),检查设置像素电极后之阵列基板有无缺陷(步骤S7)。
申请公布号 TW200602712 申请公布日期 2006.01.16
申请号 TW094105647 申请日期 2005.02.24
申请人 东芝松下显示技术股份有限公司 发明人 富田晓
分类号 G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本