真空泵系统及其驱动方法,具有该系统之装置及使用该系统而传输基板之方法

摘要

本发明揭示一种装置，该装置包括：一传输单元，该传输单元处于大气条件之下，且其中具有一机械手；及至少一处理腔室，该处理腔室连接至该传输单元之一例，且在该处理腔室与该传输单元之间具有一槽阀，且可交替地处于真空条件及大体条件之下。