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发明名称
HERSTELLUNGSPROZESS FÜR VERARMUNGS-MOSFET- BAUELEMENTE, SILIZIDIERTE SOURCE-UND DRAINKONTAKTE
摘要
申请公布号
AT314729(T)
申请公布日期
2006.01.15
申请号
AT20010967502T
申请日期
2001.09.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BOYD, DIANE, CATHERINE;BRODSKY, STEPHEN, BRUCE;HANAFI, HUSSEIN, IBRAHIM;ROY, RONNEN, ANDREW
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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