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发明名称 RAM SPEICHER UND DAS IN DEREN HERSTELLUNG VERWENDETE PLATINDAMPFABSCHEIDUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 AT314730(T) 申请公布日期 2006.01.15
申请号 AT19970936141T 申请日期 1997.06.27
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 BAUM, THOMAS, H.;KIRLIN, PETER, S.;POMBRIK, SOFIA
分类号 C07C49/12;C07C49/167;C07C49/92;C07F15/00;C07F17/02;C23C14/26;C23C16/18;G06F12/00;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 C07C49/12
代理机构 代理人
主权项
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