发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UN CIRCUIT ELECTRONIQUE INTEGRE INCORPORANT DES CAVITES |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2851373(B1) |
申请公布日期 |
2006.01.13 |
申请号 |
FR20030001978 |
申请日期 |
2003.02.18 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV |
发明人 |
TORRES JOAQUIM;ARNAL VINCENT;GOSSET LAURENT |
分类号 |
H01L21/764;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/764 |
主分类号 |
H01L21/764 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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