发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN CIRCUIT ELECTRONIQUE INTEGRE INCORPORANT DES CAVITES
摘要
申请公布号 FR2851373(B1) 申请公布日期 2006.01.13
申请号 FR20030001978 申请日期 2003.02.18
申请人 STMICROELECTRONICS SA;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV 发明人 TORRES JOAQUIM;ARNAL VINCENT;GOSSET LAURENT
分类号 H01L21/764;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/764 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
地址