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发明名称 METHOD FOR FORMING A LAYER IN A SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR PERFORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060003939(A) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 KR20040051855 申请日期 2004.07.05
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, JUNG HUN;PARK, YOUNG WOOK;HONG, JIN GI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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