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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006501681(A) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 JP20040541630 申请日期 2003.09.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/31;H05H1/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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