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发明名称 ETCHANT FOR WET ETCHING AlXGaI-XAs EPITAXIAL LAYER AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMI¬ CONDUCTOR DEVICE USING THE ETCHANT
摘要 <p>Provided are an etchant for etching an Al&lt;sub</p>
申请公布号 WO2006004255(A1) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 WO2005KR00836 申请日期 2005.03.23
申请人 POSTECH ACADEMY-INDUSTRY FOUNDATION;KWON, O'DAE;KIM, MOOJIN;KIM, DONGKWON 发明人 KWON, O'DAE;KIM, MOOJIN;KIM, DONGKWON
分类号 H01L21/306;H01L21/331;H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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