发明名称 Grabenstruktur für eine Halbleiterschaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE10104742(B4) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 DE20011004742 申请日期 2001.02.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GOLDBACH, MATTHIAS;BIRNER, ALBERT;SCHUMANN, DIRK;LUETZEN, JOERN
分类号 H01L21/762;H01L21/8242 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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