发明名称
摘要
申请公布号 JP2006501366(A) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 JP20040540443 申请日期 2003.09.09
申请人 发明人
分类号 C23C16/505;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34;H05H1/46 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
主权项
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