发明名称 SHOWERHEAD FOR SUBSTRATE MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060004505(A) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 KR20040053641 申请日期 2004.07.09
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 KANG, HO CHUL
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址