发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Kondensators in einer Halbleiterspeichervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4337889(B4) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 DE19934337889 申请日期 1993.11.05
申请人 LG SEMICON CO. LTD., CHEONGJU 发明人 HAN, JEONG-SU;LEE, SEUNG-HEE
分类号 H01L21/314;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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