摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen oberflächenemittierenden Halbleiterlaser mit vertikalem Resonator und mit seitlicher Wärmeabfuhr. Ein erfindungsgemäßer Laser weist auf einem Substrat (10) einen ersten Bragg-Spiegelstapel (11), eine aktive laseremittierende Schicht (13) und einen zweiten Bragg-Spiegelstapel (16) auf und ist dadurch gekennzeichnet, dass aus dem zweiten Bragg-Spiegelstapel, der aktiven Schicht und dem ersten Bragg-Spiegelstapel eine Mesa ausgeätzt ist, welche auf Höhe des ersten Bragg-Spiegelstapels, der aktiven Schicht und des zweiten Bragg-Spiegelstapels eine Seitenfläche (2) ausbildet, auf der eine elektrische Isolationsschicht (30) aus einem nicht leitenden und nicht halbleitenden Material angeordnet ist.</p> |