| 发明名称 |
ARTIKEL MIT FLIXIERTEM SCHLEIFMITTEL ZUM VERÄNDERN EINER HALBLEITERSCHEIBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60115710(D1) |
申请公布日期 |
2006.01.12 |
| 申请号 |
DE2001615710 |
申请日期 |
2001.06.19 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES CO., SAINT PAUL |
发明人 |
GOETZ, P. |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B37/22;B24B37/24;B24D3/00;B24D13/12;B24D13/14;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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