发明名称 VERBESSERTER GALVANOMETRISCHER ABTASTER
摘要
申请公布号 DE60021853(T2) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 DE2000621853T 申请日期 2000.11.01
申请人 GSI LUMONICS, INC.;GSI LUMONICS, INC. 发明人 BROWN, C.;STUKALIN, FELIX
分类号 G02B26/02;G02B26/10;H02K5/16;H02K7/14;H02K26/00 主分类号 G02B26/02
代理机构 代理人
主权项
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