| 主权项 |
1.一种彩色滤光片之制造方法,其包括以下步骤: 提供一基板; 于该基板上形成黑色矩阵; 于该基板及该黑色矩阵表面形成一彩色光阻层; 对该彩色光阻层进行曝光显影,对该黑色矩阵的开 口部边缘对应的彩色光阻层进行部份曝光显影,从 而形成着色层; 于黑色矩阵及着色层上形成一透明导电膜。 2.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片之制造 方法,其中该着色层系采用颜料分散法形成。 3.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片之制造 方法,其中该透明导电层系采用溅镀法形成。 4.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片之制造 方法,其中该曝光过程系采用紫外光进行。 5.一种彩色滤光片的制造装置,其包括一曝光装置, 该曝光装置包括一用于彩色光阻层曝光的光罩,该 光罩包括一遮光区及一曝光区,其中该遮光区边缘 包括至少一狭缝。 6.如申请专利范围第5项所述之彩色滤光片之制造 装置,其中该狭缝宽度为0.1-5m。 图式简单说明: 第一图系先前技术彩色滤光片之示意图。 第二图系先前技术彩色滤光片制造方法产生段差 之示意图。 第三图系本发明一实施方式之彩色滤光片之示意 图。 第四图系本发明一实施方式之彩色滤光片之制造 方法流程图。 第五图系第四图所示彩色滤光片之制造方法所采 用之光罩之示意图。 第六图系第四图所示彩色滤光片之制造方法消除 段差之示意图。 |
