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1.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)及界 面活性剂,该界面活性剂系选自于聚氧化烯化合物 、式1之醇胺与含羧酸(-COOH)基团之碳氢化合物所 成的盐、式1之醇胺与含磺酸(-SO3H)基团之碳氢化 合物所成的盐、式2之聚乙二醇化合物、式3化合 物、包含式4基团且具有分子量范围从1000至10000之 经取代或未经取代之C1-10化合物、经聚醚变性之 矽化合物及其组合所组成的群组: 其中: R1和R2各自选自于氢、C1-10烷基和C1-C10烷基醇所组 成的群组;及 l是范围从1至10的整数; 其中: m是范围从1至500的整数;及 数目平均分子量范围从62至20000; 其中: R3和R4各自是氢、C1-C10烷基、芳基、、C1-C10胺 基烷基、胺基芳基、羧酸基或磺酸基; R5是胺基、羟基、C1-C10烷基、芳基、、胺基 烷基、胺基芳基、羧酸基或磺酸基; A是C1-C5伸烷基或C3-C10芳族碳氢化合物;及 n是范围从0至2的整数;以及 2.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其进一步包含 醇化合物。 3.根据申请专利范围第2项之洗涤液,其中界面活性 剂存在量范围是整体洗涤液的0.001至5重量%,而醇 化合物存在量范围是整体洗涤液的0.01至10重量%。 4.根据申请专利范围第3项之洗涤液,其中界面活性 剂存在量范围是整体洗涤液的0.3至5重量%,而醇化 合物存在量范围是整体洗涤液的1.7至10重量%。 5.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中聚氧化烯 化合物系选自于下列各物所组成的群组: 1)聚氧乙烯烷基苯基醚; 2)聚氧乙烯烷基醚; 3)聚氧乙烯二醇脂肪酸酯; 4)聚(氧丙烯-氧乙烯)嵌段共聚物; 5)聚氧乙烯烷基胺醚; 6)聚氧化烯二醇单烷基醚聚(氧丙烯-氧乙烯)二 醇的共聚物;及 7)其组合。 6.根据申请专利范围第5项之洗涤液,其中聚氧化烯 化合物为1)选自于聚氧乙烯壬基苯基醚、聚氧乙 烯辛基苯基醚及其组合所组成群组的聚氧乙烯烷 基苯基醚; 2)选自于聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯油基醚、 聚氧乙烯鲸蜡基醚、聚氧乙烯鲸蜡基-硬脂基醚、 聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯辛基醚、聚氧乙烯 十三基醚及其组合所组成群组的聚氧乙烯烷基醚; 或 3)选自于聚氧乙烯单月桂酸酯、聚氧乙烯单油酸 酯、聚氧乙烯单硬脂酸酯、聚氧乙烯羊毛脂、聚 氧乙烯蓖麻油及其组合所组成群组的聚氧乙烯二 醇脂肪酸酯。 7.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中该聚氧化 烯化合物系选自于聚氧乙烯二醇共聚物、聚(氧乙 烯-氧丙烯)二醇共聚物、聚烷基醚、聚氧化烯三 醇及其组合所组成的群组。 8.根据申请专利范围第5项之洗涤液,其中(5)聚氧乙 烯烷基胺醚系选自于聚氧乙烯月桂基胺醚、聚氧 乙烯硬脂基胺醚及其组合所组成的群组。 9.根据申请专利范围第1项至第4项中任一项之洗涤 液,其中式1之醇胺系选自于单乙醇胺、二乙醇胺 和三乙醇胺所组成的群组。 10.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中含羧酸 基之碳氢化合物与含磺酸基之碳氢化合物各自是C 2-C500的化合物。 11.根据申请专利范围第10项之洗涤液,其中含羧酸 基之碳氢化合物系选自于乙酸、二十四烷酸、亚 油酸、油酸、硬脂酸及其组合所组成的群组;以及 含磺酸基之碳氢化合物系选自于木质素磺酸、甲 烷磺酸、对甲苯磺酸及其组合所组成的群组。 12.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中该界面 活性剂系选自于磺醯胺、磺胺嘧啶、对胺基苯磺 醯胺、胺基磺酸、对胺基苯磺酸和磺胺水杨所 组成的群组。 13.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中该界面 活性剂系选自于葡萄糖、葡糖醛醯胺、葡糖醛酸 、蔗糖、乳糖、乳糖醇及其组合所组成的群组。 14.根据申请专利范围第l项之洗涤液,其中该界面 活性剂是一种经聚醚变性之矽化合物且具有范围 从1000至10000的分子量。 15.根据申请专利范围第14项之洗涤液,其中经聚醚 变性之矽化合物包含式5之重复单元: 其中: X系选自于CH3、C2-C500聚醚、醇和铵盐所组成的群 组; Y是H、CH3、C2-C500聚醚、醇或铵盐;及 o是范围从1至200的整数。 16.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中该界面 活性剂是经聚醚变性之矽化合物且系以式5a表示: 其中: X是C2-C500聚醚、醇或铵盐;及 p和q个别是范围从1至100的整数。 17.根据申请专利范围第16项之洗涤液,其中X系选自 于式6、7、8a和8b所组成的群组: [式6] -(CH2O)a(C2H4O)b(C3H6O)cR; [式7] -CH2(CR'2)OH; [式8a] -(CH2)d N+(R")2B;及 [式8b] -N+(R")3B, 其中: R、R'和R"个别是氢或C1-C100烷基:B是CH2COO或卤素; a、b和c个别是范围从1至100的整数;及 d是范围从1至10的整数。 18.根据申请专利范围第2项至第4项中任一项之洗 涤液,其中醇化合物系选自于C1-C10烷基醇、C1-C10烷 氧基醇及其组合所组成的群组。 19.根据申请专利范围第18项之洗涤液,其中C1-C10烷 基醇系选自于甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、正丁 醇、第二丁醇、第三丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊 醇、2,2-二甲基-1-丙醇及其组合所组成的群组;及C1 -C10烷氧基醇系选自于2-甲氧基乙醇、2-(2-甲氧基 乙氧基)乙醇、1-甲氧基-2-丙醇、3-甲氧基-1,2-丙二 醇及其组合所组成的群组。 20.根据申请专利范围第1项之洗涤液,其中该洗涤 液系选自于下列各物所组成的群组: 由聚氧乙烯壬基苯基醚、异丙醇与水所组成的溶 液; 由聚氧乙烯月桂基醚、异丙醇与水所组成的溶液; 由聚氧乙烯单月桂酸酯、异丙醇与水所组成的溶 液; 由聚氧乙烯三醇、异丙醇与水所组成的溶液; 由聚氧乙烯三醇、甲醇与水所组成的溶液; 由单乙醇胺-二十四烷酸盐、异丙醇与水所组成的 溶液; 由三乙醇胺-亚油酸盐、乙醇与水所组成的溶液; 由三乙醇胺-乙酸盐、异丙醇与水所组成的溶液; 由二乙醇胺-硬脂酸盐、1-戊醇与水所组成的溶液; 由三乙醇胺-油酸盐、甲醇与水所组成的溶液; 由单乙醇胺-木质素磺酸盐、异丙醇与水所组成的 溶液; 由三乙醇胺-甲烷磺酸盐、乙醇与水所组成的溶液 ; 由三乙醇胺-对甲苯磺酸盐、异丙醇与水所组成的 溶液; 由二乙醇胺-木质素磺酸盐、1-戊醇与水所组成的 溶液; 由三乙醇胺-木质素磺酸盐、甲醇与水所组成的溶 液; 由具有数目平均分子量200之式2化合物、异丙醇与 水所组成的溶液; 由具有数目平均分子量1000之式2化合物、乙醇与 水所组成的溶液; 由四乙二醇、异丙醇与水所组成的溶液; 由具有数目平均分子量1450之式2化合物、1-戊醇与 水所组成的溶液; 由磺胺水杨、异丙醇与水所组成的溶液; 由对胺基苯磺酸、乙醇与水所组成的溶液; 由胺基磺酸、异丙醇与水所组成的溶液; 由对胺基苯磺醯胺、1-戊醇与水所组成的溶液; 由葡萄糖、异丙醇与水所组成的溶液; 由葡糖醛酸、乙醇与水所组成的溶液; 由乳糖、异丙醇与水所组成的溶液; 由乳糖醇、1-戊醇与水所组成的溶液; 由其中X是CH2CH2OCH2CH2OCH3之式5a化合物、异丙醇与 水所组成的溶液; 由其中X是CH2CH2OH之式5a化合物、乙醇与水所组成 的溶液; 由其中X是(CH2)3N+(CH3)2CH2COO-之式5a化合物、异丙醇 与水所组成的溶液;及 由其中X是(CH2)3N+(CH3)2CH2COO-之式5a化合物、1-戊醇 与水所组成的溶液; 其中; p和q个别是范围从1至100的整数。 21.一种形成光阻剂图案之方法,其包括下列步骤: (a)藉由将光阻剂涂覆于形成于半导体基材上之底 层上方部分来形成光阻剂膜; (b)软烤该光阻剂膜; (c)使该光阻剂膜曝光; (d)后烤产物; (e)利用显影剂使该曝光的光阻剂膜显影;及 (f)使用申请专利范围第1项之洗涤液清洗所得的结 构。 22.根据申请专利范围第21项之方法,其中(b)步骤之 曝射光源系选自于KrF、ArF、VUV、EUV、电子束、X射 线和离子束所组成的群组。 23.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和聚 氧化烯化合物。 24.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和一 种式1之醇胺与含羧酸(-COOH)基团之碳氢化合物所 成的盐: [式1] 其中: R1和R2各自选自于氢、C1-C10烷基和C1-C10烷基醇所组 成的群组;及 l是范围从1至10的整数。 25.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和一 种式1之醇胺与含磺酸(-SO3H)基团之碳氢化合物所 成的盐: [式1] 其中: R1和R2各自选自于氢、C1-C10烷基和C1-C10烷基醇所组 成的群组;及 l是范围从1至10的整数。 26.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和式2 之聚乙二醇化合物: 其中: m是范围从1至500的整数;及 数目平均分子量范围从62至20000。 27.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和式3 化合物: 其中: R3和R4各自是氢、C1-C10烷基、芳基、、C1-C10胺 基烷基、胺基芳基、羧酸基或磺酸基; R5是胺基、羟基、C1-C10烷基、芳基、、胺基 烷基、胺基芳基、羧酸基或磺酸基; A是C1-C5伸烷基或C3-C10芳族碳氢化合物;及 n是范围从0至2的整数。 28.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和一 种包含式4基团且具有分子量范围从1000至10000之经 取代或未经取代之C1-10化合物: [式4] 29.一种去除光阻物质之洗涤液,其包含水(H2O)和经 聚醚变性之矽化合物。 图式简单说明: 图1至15是得自实施例32至46的光阻剂图案照片。 图16和17是得自实施例47的光阻剂图案照片。 图18至24是得自实施例48至54的光阻剂图案照片。 图25和26是得自实施例55的光阻剂图案照片。 图27至33是得自实施例56至62的光阻剂图案照片。 图34是得自比较实施例1的光阻剂图案照片。 |
