一种光学式旋转轴误差量测装置

摘要

本发明为一种光学式旋转轴误差量测装置，系利用一标准棒架于工具机的旋转轴上，在标准棒的前端紧贴一个反射镜，雷射光束打在第一分光镜上反射到标准棒上面的反射镜，接着打在反射镜上的光再反射回到第二分光镜，第二分光镜所接收到的光再产生反射光和穿透光，再由两个感测器接收并量测与计算出旋转轴的位移与角度误差。第二分光镜产生反射光和穿透光，分别由两个感测器接收反射光和穿透光，来检测旋转轴在旋转时的位置平行偏移与旋转轴主轴的倾斜角度的周期性，经由计算可得旋转轴角度倾斜量和旋转轴之转动轨迹，进而推出旋转轴的各自由度之误差。

主权项

1.一种光学式旋转轴误差量测装置,其包括: 一准直雷射,用以产生雷射光束; 第一分光镜,接收并反射雷射光束; 一标准棒,设置在待测工具机旋转轴上, 一反射镜,设置在标准棒上,以接收第一分光镜的 反射光源并再进行反射; 第二分光镜,接收反射镜反射之光源并产生反射光 和穿透光; 第一感测器,其前端设置有一双凸透镜,用来接收 第二分光镜的反射光;以及 第二感测器,用来接收第二分光镜的穿透光。 2.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中前述之雷射光束,可采用可见 光应用于绝对距离量测。 3.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中前述之雷射光束,可采用微波 应用于绝对距离量测。 4.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中前述之雷射光束,可采用红外 光应用于绝对距离量测。 5.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中前述之雷射光束,可采用紫外 光应用于绝对距离量测。 6.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中前述之雷射光束,可采用X射线 应用于绝对距离量测。 7.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中该量测角度误差之第一感测器 上面的读値,可再使用三角函数公式求出旋转轴倾 斜误差。 8.如申请专利范围第1项所述之一种光学式旋转轴 误差量测装置,其中该量测水平误差之第二感测器 上面的读値,可再使用三角函数公式求出旋转轴水 平误差。 图式简单说明: 图一为本发明所量测之倾斜角度沿着Z轴的倾斜角 度、沿着X轴的倾斜角度、沿着Y轴的倾斜角度示 意图; 图二为本发明所量测之沿着X轴的水平位移误差与 沿着Y轴的水平位移误差示意图; 图三为本发明以X轴为例的角误差量测示意图; 图四为本发明以X轴为例的水平偏移量测示意图; 以及 图五为本发明的系统架构图。