| 主权项 |
1.一种奈米粒子组装之彩色滤光片之制法,以不同 颗粒大小及形状之奈米粒子作为彩色滤光片之红 、蓝、绿之透光区域,至少包含下列步骤: (a)在石英或玻璃基板上形成一层球形奈米粒子; (b)以灰阶光罩(gray level mask)曝光于紫外线或可见 光之光源,以在基板上形成奈米粒子之红色透光区 域、绿色透光区域及蓝色透光区域,并使完全透光 部份区域之奈米粒子成长为连续金属膜使之能反 射入射光以作为黑色基材(black metal)之效用。 2.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中球形奈米粒子为金(Au)。 3.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中球形奈米粒子为银(Ag)。 4.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中球形奈米粒子之厚度为160nm至200 nm。 5.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中紫外线光源为传统之萤光紫外线 (fluorescent UV light)。 6.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中曝光时间约为5分钟至20分钟。 7.如申请专利范围第1项之奈米粒子组装之彩色滤 光片之制法,其中红色区域奈米粒子粒径最大、绿 色区域之奈米粒子居中,蓝色区域之奈米粒子粒径 最小。 8.一种奈米孔穴阵列组装之彩色滤光片之制法,以 不同孔径之奈米孔穴形成金属波导(metallic wave guide)之光栅阵列(array)作为彩色滤光片之红、绿、 蓝之透光区域,至少包含下列步骤: (a)制作一不同光径之光罩,使其具有蓝色透光效应 区域、绿色透光效应区域、红色透光效应区域之 阵列图案; (b)在玻璃(glass)上涂布光阻以光罩曝光及蚀刻,形 成不同孔径之红色区域孔穴、绿色区域孔穴、及 蓝色区域孔穴; (c)在通道玻璃上及孔穴内之侧壁镀一层金属,形成 金属波导光栅阵列。 9.一种奈米孔穴阵列组装之彩色滤光片之制法,以 不同孔径之奈米孔穴形成金属波导(metallic wave guide)之光栅阵列(array)作为彩色滤光片之红、绿、 蓝之透光区域,至少包含下列步骤: (a)制作一奈米印模(nano-imprint),使其具有蓝色透光 效应区域、绿色透光效应区域、红色透光效应区 域之阵列印模; (b)加热玻璃基板,以奈米印模印制形成不同孔径之 红色区域孔穴、绿色区域孔穴、及蓝色区域孔穴; (c)在通道玻璃上及孔穴内之侧壁镀一层金属,形成 金属波导光栅阵列。 10.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中蓝色光栅之孔穴之直径约为 0.20m至0.25m。 11.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中绿色光栅之孔穴之直径约为 0.26m至0.32m。 12.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中红色光栅之孔穴之直径约为 0.35m至0.45m。 13.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中通道玻璃之厚度t系使t/d>5, 其中d为孔穴之直径。 14.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中相邻孔穴之中心之间隔s系 使s/d约为1.5。 15.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中玻璃上之金属厚度大于光之 穿透深度(penatration depth),约在140m以上。 16.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中玻璃上及孔穴内之侧壁之金 属为金(Au)。 17.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中玻璃上及孔穴内之侧壁之金 属为银(Ag)。 18.如申请专利范围第8或9项之奈米粒子组装之彩 色滤光片之制法,其中玻璃上及孔穴内之侧壁之金 属为铝(Al)。 图式简单说明: 第1图系依据本发明之一实施例之奈米粒子组装之 滤光光栅阵列之制程示意图。 第2图系依据本发明之另一实施例之奈米孔穴之滤 光光栅阵列之组装结构图。 (a)为剖面图。 (b)为平面图。 |
