微颗粒表面真空镀金属膜工艺及其设备

摘要

本发明涉及微颗粒表面真空镀金属膜工艺及其设备，其特征是采用样品架连接设有超声波或机械振动发生器的镀金属膜设备，进行微颗粒表面真空镀金属膜步骤如下：首先备好各种微颗粒材料；选用金属溅射靶材银、铜、铝、钴、镍之一置于溅射靶架上；把装入微颗粒的样品皿置于样品台；打开机械泵抽真空至1Pa～10Pa；打开分子泵抽真空至1.0×10^－3Pa～8.0×10^－3Pa；并向真空室内充氩气至0.1Pa～10Pa；打开超声波或机械振动发生器和样品架摆动装置，调节超声波振动功率范围：10w～200w，或机械振动功率范围：5w～5000w，样品架摆动频率范围：10次/分～80次/分；溅射功率范围：50w～5000w，溅射镀膜时间范围：10分钟～180分钟。操作简便，无废水废气污染，节能降耗。

主权项

1、一种微颗粒表面真空镀金属膜工艺，其特征是该工艺包括如下步骤：(1)备好微颗粒材料，包括规则、不规则或空心、多孔各种形状的无机材料、有机材料或生物材料；(2)打开真空室，选取溅射靶材金属银、铜、铝、钴、镍其中之一，置于溅射靶架上；(3)把装入微颗粒材料的样品皿安装在样品台上；(4)关闭真空室，打开机械泵抽真空至1Pa～10Pa；(5)打开分子泵抽真空至1.0×10-3Pa～8.0×10-3Pa；(6)打开流量计，向真空室内充氩气至0.1Pa～10Pa；(7)打开超声波振动器或机械振动器和样品架摆动装置，调节超声波振动功率范围：10w～200w，或机械振动功率范围：5w～5000w，样品架摆动频率范围：10次/分～80次/分；(8)打开溅射靶电源，溅射功率范围：50w～5000w，溅射镀膜时间范围：10分钟～180分钟；(9)按顺序关闭流量计、分子泵和机械泵，再打开放气阀缓慢向真空室内放气，当真空室内压力与大气压力平衡后，打开真空室，取出样品，镀膜结束。