制备纳米结构生物活性钛金属薄膜的方法

摘要

一种生物材料技术领域的制备纳米结构生物活性钛金属薄膜的方法，步骤如下：将医用植入物基材清洗、烘干备用；固定钛靶及基材；烘烤真空室，通入氩气，调节氩气流量在10sccm－30sccm，功率在40W－100W，气压在0.3Pa－4Pa之间后，对溅射系统中的钛靶进行直流辉光溅射清洗；待完成溅射清洗钛靶后，氩气流量仍保持在30sccm，调节总气压在0.3Pa－3.6Pa之间，调节功率在40W－80W之间，直流磁控溅射钛靶；溅射后从真空室取出试样。本发明简单经济，制得的纳米结构Ti生物活性膜与植入物表面结合牢固，对原医用植入物的机械性能无任何破坏，提高了原普通医用植入物的生物相容性，有很大的应用潜力。

主权项

1、一种制备纳米结构生物活性钛金属薄膜的方法，其特征在于，步骤如下：(1)将待处理的医用植入物基材清洗后烘干后备用；(2)将钛靶固定在磁控阴极靶托上，并将清洗烘干后待处理的医用植入物基材固定在磁控溅射系统真空室的样品基座上，调节靶面至基板的距离，靶表面上溅射区域的磁场强度为2800高斯；(3)烘烤磁控溅射系统真空室，通入氩气，调节氩气流量在10sccm-30sccm之间，调节功率在40W-100W之间，气压在0.3Pa-4Pa之间后，对溅射系统中的钛靶进行直流辉光溅射清洗；溅射清洗时，转动档板位置，用档板将待处理的医用植入物基材和钛靶隔开，以免从钛靶表面溅射出的成分沉积到待处理的医用植入物基材上；(4)待溅射清洗稳定后，移开档板，在待处理的医用植入物基材上沉积纳米结构金属Ti生物活性膜，此时，氩气流量仍保持在30sccm，调节总气压在0.3Pa-3.6Pa之间，调节功率在40W-80W之间，直流磁控溅射钛靶；(5)溅射后从真空室取出试样，即在基材表面沉积了一层纳米结构生物活性钛金属薄膜。