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经营范围
发明名称
METHOD FOR HAFNIUM NITRIDE DEPOSITION
摘要
申请公布号
EP1613790(A1)
申请公布日期
2006.01.11
申请号
EP20040759751
申请日期
2004.03.24
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
METZNER, CRAIG;KHER, SHREYAS;KIM, YEONG, KWAN;ROCKLEIN, M., NOEL;GEORGE, STEVEN, M.
分类号
C23C16/40;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/285
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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