发明名称 METHOD FOR HAFNIUM NITRIDE DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1613790(A1) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 EP20040759751 申请日期 2004.03.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 METZNER, CRAIG;KHER, SHREYAS;KIM, YEONG, KWAN;ROCKLEIN, M., NOEL;GEORGE, STEVEN, M.
分类号 C23C16/40;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/285 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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