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经营范围
发明名称
ELECTRODE STATIC CHUCK
摘要
申请公布号
KR20060003490(A)
申请公布日期
2006.01.11
申请号
KR20040052389
申请日期
2004.07.06
申请人
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
发明人
HAN, JEUNG HUN;KIM, CHUL SIK;LEE, YONG HYUN
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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